Natürlich ist es möglich. Es gibt viele Unternehmen, die diese Dienste anbieten. Die eigentliche Frage ist, ob Sie dies zu Hause tun können oder nicht.
Sie könnten davonkommen, ohne ein REM (Rasterelektronenmikroskop) zu benötigen. Dieses Design könnte in einer Geometrie von ~ 3u ausgeführt werden, die mit sichtbarem Licht vorstellbar wäre.
Sie benötigen eine Nassbank zum Abätzen von Schichten wie HF für SiO2, müssen jedoch auch Si3N4, SiON und Aluminium entfernen. Möglicherweise benötigen Sie eine Trockenätzung (Ar-Plasma in einer Vakuumkammer), um Wolframstopfen in Durchkontaktierungen zu entfernen.
Ihre Hauptprobleme werden darin bestehen, die genauen Werte von Widerständen und Kondensatoren (falls vorhanden) zu messen. Abgrenzung von Substratimplantaten (Dekoration mit bösartigeren Chemikalien in einer Nassbank) und Bestimmung von Dotierungsprofilen. Die Dotierungsprofile können leicht mit einem SIMS-Gerät (Sekundärionen-Massenspektrometer) erhalten werden, einige der strukturellen Details von Implantaten in der FEOL (Front End of Line) können jedoch subtil sein.
Es wird subtile Schichtdicken geben, die gemessen werden müssen, bevor sie durch das Nassätzen beschädigt oder in der Dicke reduziert werden.
Die Oberfläche des Chips weist eine signifikante Topographie auf (CMP gab es damals nicht), so dass die Tiefenschärfe die Aufnahme erschweren könnte.
Es ist unwahrscheinlich, dass Sie die genauen Transistoreigenschaften erhalten, die der ursprüngliche Chip problemlos hatte. Sie müssen wirklich nicht nur die Verarbeitung, sondern auch die Transistorphysik und die Rolle verschiedener Implantate verstehen.
Wenn Sie mehrere Chips hätten (die Sie benötigen würden ), könnten Sie möglicherweise den Zugriff auf einen Transistor freigeben und ihn auf einen Kurventracer legen, um ihn direkt zu messen. Die Strukturgröße ist groß genug, und da es sich um einen analogen Chip handelt, sind wahrscheinlich einige große Transistoren darin enthalten. Aber das ist nicht sicher.
Die andere gute Nachricht ist, dass Sie alte SEMs für niedrige Kosten kaufen können. Nur ein paar $ 10K und obwohl sie körnig sind, hat dieser Chip große Funktionen. Wenn Sie jedoch eine SIMS-Einheit haben, die auch Bilder aufnehmen kann (es handelt sich um ein modifiziertes SEM), können Sie möglicherweise davonkommen, ohne die Gleichung zu duplizieren.