Was ist eine Risikowaffel?

Bei der Herstellung von integrierten Schaltkreisen stieß ich auf den Begriff "Risikowafer", der sich von einem "normalen" Wafer zu unterscheiden scheint. Aber ich kann online keine Informationen darüber finden, was eine Risikowaffel wirklich ist.

Wenn Sie ein Design für die Fertigung freigeben, dh Tape-out, Bruch (Maskenherstellung) und dann Losstart, ist es normal, dass Sie ein ES-Los (Engineering Sample) starten, das kleiner ist als ein vollständiges Produktionslos (25) der Größe von Diese ES-Charge hängt von der Fabrik ab, beträgt jedoch in der Regel etwa 12. Sie legen dann Wafer Holds an verschiedenen Stellen in den Prozess ein. Sie beginnen mit 12 Wafern, aber drei werden beispielsweise am Implantat gehalten, und dann werden weitere 3 an der Gate-Polyätzung und anschließend weitere 3 an Metall 1 gehalten, sodass die letzten 3 den Endschritt durchlaufen können.

Dies geschieht, damit Sie bei Problemen mit verschiedenen Schritten die Probleme beheben und diese zurückgehaltenen Wafer neu starten können, ohne eine so lange Zeitverzögerung zu haben. Auch macht es keinen Sinn, 25 Wafer zu verschrotten.

Sie können niemals nur einen Wafer halten, da in vielen Verarbeitungsschritten mehrere Wafer gleichzeitig bearbeitet werden (z. B. 6, 3 oder 4). Wenn Sie also nur einen Wafer anhalten, muss ein Ersatz-Dummy-Wafer mit einem ähnlichen Wafer vorhanden sein Verarbeitung in seinen Platz gebracht. Fabs verschwenden keine Produktionskapazitäten auf Schrott.

Die Menge, die an jedem Stopp gehalten wird, hängt von den Maschinen ab (3 Wafer oder 4 Wafer usw. in dieser Maschinenmitte).

Der "Risikowafer", den Sie erwähnen, kann die erste Partie von 3 sein, die es durch ES mit Stopps schafft oder an verschiedenen Stellen für die anderen Wafer in der Partie hält. Die ersten durch sind weit "riskanter". Die an den verschiedenen Orten gehaltenen Wafer sind möglicherweise nicht so riskant, so dass sie möglicherweise nicht als Risikowafer betrachtet werden. Obwohl einige Fabs das in Betracht ziehen.

Und schließlich werden in einigen Fabriken nicht qualifizierte Wafer als Risikowafer eingestuft.

Der Begriff hängt also von der von Ihnen verwendeten Fab ab.

Ein Tipp an @bdegnan, der darauf hinwies, dass in einigen Fabs ein "Risikowaffel" ein Prozessverzicht beantragt und gewährt wurde. Möglicherweise fordern Sie eine Änderung der Prozessschritte, der Dosierung oder das Hinzufügen neuer Stapes (die noch nicht qualifiziert wurden) oder sogar eine Aufhebung der DRC (Design Rules Check). Erfasste dies aus den Kommentaren.