Warum hat dieses EPROM kammartige Strukturen um die Drahtbondpads?


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Ich habe einige Bilder von einem Microchip-EPROM-Chip aus den späten 80ern / frühen 90ern gemacht (ich kann mich nicht an die genaue Teilenummer erinnern). Die Drahtbondpads sind von einer kammartigen Struktur umgeben. Was ist der Zweck dieser Struktur?eeprom sterben 1eeprom sterben 2


Es wäre interessant zu sehen, ob die Ausgangs- und Adressstifte ähnlich aussehen. Die 24-polige EPROM-Pinbelegung ist ziemlich Standard - die 12 Adresspins sind gruppiert (mit Vcc und Vpp) und die 8 Ausgangspins sind gruppiert (mit Vss drin).
Spehro Pefhany

Antworten:


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Es handelt sich wahrscheinlich um große p-MOS- und n-MOS-Transistoren, die zum ESD-Schutz auf den Bondpads verwendet werden. Hier ist eine Referenz, die verschiedene Bonding-Pad-Designs im Detail zeigt (im Allgemeinen sind diese Informationen nicht leicht zu bekommen - IC-Hersteller scheinen den ESD-Schutz als eine Art Geschäftsgeheimnis zu behandeln). Bild aus dem obigen PDF:

Geben Sie hier die Bildbeschreibung ein

Ich erinnere mich nicht, dass Microchip jemals Speicher-EPROMs hergestellt hat. Ist dies Teil eines EPROM-Mikrocontrollers?

Edit: Ich schaue mir nur einen Microchip PIC16C57 an, der wahrscheinlich aus einer ähnlichen Zeit stammt. Es gibt ähnliche Muster auf beiden Seiten der meisten Pins (die E / A sind), aber nur auf einer Seite der Nur-Eingang-Pins wie T0CKI, / MCLR / Vpp, OSC1. Die Strukturen scheinen also auf der einen Seite Treiber und auf der anderen Seite ESD-Schutzschaltungen jeglicher Art zu sein.

Geben Sie hier die Bildbeschreibung ein


Sicherlich werden die genauen Details eines bestimmten IC-Fab-Prozesses als Geschäftsgeheimnisse betrachtet, zumindest bis sie mehreren Anbietern allgemein bekannt werden. Es ist selten, die Fotos zu sehen (oberste Ebene).
MarkU

Ich habe den Chip zu Hause gelassen, sodass ich im Moment die genaue Teilenummer nicht nachschlagen kann. Ich denke, es war ähnlich wie beim 27HC64 , den Microchip um 1990 verkauft hat. Ich glaube, der Chip, den ich habe, hat ein paar weniger Pins.
Scott Lawson

@ ScottLawson Danke! Aus diesem Datenblatt haben sie offensichtlich in dieser Zeit EPROMs hergestellt. Ich war daran interessiert zu bestätigen, dass es sich um einen CMOS-Prozess handelt.
Spehro Pefhany

Es wäre wirklich interessant zu sehen, wie Sie erklären, wie diese "MOSFETs" NUR aus Metall ohne Silizium hergestellt werden. -1 zum Erraten.
Platzhalter

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@placeholder Woher weißt du, dass kein Silizium in der Nähe ist? Es befindet sich offensichtlich auf einem Siliziumchip, sodass du etwas anderes siehst. Was würde für Sie anders aussehen, wenn das Transistoren wären?
Spehro Pefhany

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Bei diesem Schreiben gibt es zwei "Antworten", die völlige Vermutungen sind - und auch das ist falsch.

Diese Kammstrukturen sind so, wie Sie es vielleicht erwarten, wenn Sie an einer genauen Stelle und in kontrollierte Strukturen einen Zusammenbruch induzieren möchten, anstatt an einer anderen Stelle im Chip. Diese befinden sich in der TOP-Metallschicht. Die Kämme sind dazu da, viele scharfe Kanten zu erzeugen, um ein übermäßig hohes ESD-Ereignis zu fördern, das an dieser Stelle durchgeführt werden kann.

Die Dioden- und ESD-Klemmstrukturen befinden sich notwendigerweise im Silizium.

Dies sind sehr, sehr weit davon entfernt, die Transistorstrukturen zu sein, die im Si mindestens 3 - 7 Metallschichten nach unten liegen.

Schauen Sie sich Blitzableiter in der größeren Welt an. Sie werden genau diese Dinge dort sehen.

Nennen wir es einen Gürtel und Hosenträger Ansatz. Oder eher eine letzte Chance, die tatsächlich ESD-Strukturen sind für Ereignisse mit viel niedrigerer Spannung ausgelegt.


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-1, weil nicht erklärt wurde, warum die Strukturen auf der einen Seite mit Masse und auf der anderen Seite mit Vcc verbunden sind.
Dave Tweed

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@ DaveTweed wieder raten, ich verstehe. Ich habe nicht gesagt, dass sie mit Masse verbunden sind. Es gibt nicht genügend Informationen, um diese Annahme zu rechtfertigen. Was ist diese Pin-Funktion? Ich weiß es nicht.
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Ich denke, wir sollten uns alle hier abkühlen
Clabacchio

Wenn ich die Antworten vergleiche, sehe ich aus meiner POV eine Antwort, die behauptet, dass alle anderen falsch sind, und sie haben Recht, weil sie gut sind, und eine andere Antwort, die zumindest versucht, dies mit einigen externen Quellen zu belegen.
PlasmaHH

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Diese Strukturen sind die großen Transistoren, die erforderlich sind, um die als Ausgänge verwendeten Pins anzusteuern.


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-1 zum Erraten
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